Extração de parâmetros da tecnologia SOI através de capacitores

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Tipo de produção
Artigo
Data de publicação
2005-01-05
Autores
Victor Sonnenberg
NICOLETT, APARECIDO SIRLEY
MARTINO, JOÃO ANTONIO
Orientador
Periódico
Boletim Técnico da Faculdade de Tecnologia de São Paulo
Título da Revista
ISSN da Revista
Título de Volume
Citação
SONNENBERG, V.; NICOLETT, A. S.; MARTINO, J. A. Extração de parâmetros da tecnologia SOI através de capacitores. Boletim Técnico da Faculdade de Tecnologia de São Paulo, v. BT-18, p. 05-13, 2005.
Texto completo (DOI)
Palavras-chave
URL permanente
https://repositorio.fei.edu.br/handle/FEI/3453
Resumo
Neste trabalho serão apresentadas as curvas características de Capacitores SOI-MOS e métodos de extração de parâmetros de processo e elétricos a partir destas curvas. Os métodos são testados e validados por simulações bidimensionais numéricas e aplicados experimentalmente, obtendo-se valores esperados para a tecnologia utilizad.
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