Victor SonnenbergNICOLETT, APARECIDO SIRLEYMARTINO, JOÃO ANTONIO2021-11-102021-11-102005-01-05SONNENBERG, V.; NICOLETT, A. S.; MARTINO, J. A. Extração de parâmetros da tecnologia SOI através de capacitores. Boletim Técnico da Faculdade de Tecnologia de São Paulo, v. BT-18, p. 05-13, 2005.1518-9082https://repositorio.fei.edu.br/handle/FEI/3453Neste trabalho serão apresentadas as curvas características de Capacitores SOI-MOS e métodos de extração de parâmetros de processo e elétricos a partir destas curvas. Os métodos são testados e validados por simulações bidimensionais numéricas e aplicados experimentalmente, obtendo-se valores esperados para a tecnologia utilizad.Acesso RestritoArtigo