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Title: Extração de parâmetros da tecnologia SOI através de capacitores
Authors: SONNENBERG, VICTOR
NICOLETT, Aparecido S.
MARTINO, JOÃO ANTONIO
Issue Date: 5-Jan-2005
Abstract: Neste trabalho serão apresentadas as curvas características de Capacitores SOI-MOS e métodos de extração de parâmetros de processo e elétricos a partir destas curvas. Os métodos são testados e validados por simulações bidimensionais numéricas e aplicados experimentalmente, obtendo-se valores esperados para a tecnologia utilizad.
Journal: Boletim Técnico da Faculdade de Tecnologia de São Paulo
ISSN: 1518-9082
Citation: SONNENBERG, V.; NICOLETT, A. S.; MARTINO, J. A. Extração de parâmetros da tecnologia SOI através de capacitores. Boletim Técnico da Faculdade de Tecnologia de São Paulo, v. BT-18, p. 05-13, 2005.
Access Type: Acesso Restrito
URI: https://repositorio.fei.edu.br/handle/FEI/3453
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